ウェーハフラットネスデータ処理方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-152052
公開番号（公開出願番号）：特開平11-325882
出願日： 1998年05月16日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの反りの大きさや平坦度などのデータを有機的に組み合わせることにより、ウェーハ処理プロセスにおいてウェーハを吸着したときにおける平坦度を予測できるようにしたウェーハフラットネスデータ処理方法を提供すること。【解決手段】ウェーハを適宜大きさのセルに区分し、この区分されたセルごとに平坦度と反り量とをそれぞれ縦軸および横軸にとって、前記平坦度と反り量とを互いに関連付けるようにした。

請求項（抜粋）：

ウェーハを適宜大きさのセルに区分し、この区分されたセルごとに平坦度と反り量とをそれぞれ縦軸および横軸にとって、前記平坦度と反りとを互いに関連付けるようにしたことを特徴とするウェーハフラットネスデータ処理方法。

IPC (2件)：

G01B 21/30 101 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 21/30 101 F , H01L 21/66 Z , H01L 21/66 P

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