特許
J-GLOBAL ID：200903086690717007
ランプ加熱式液体金属イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-316556
公開番号（公開出願番号）：特開平5-151907
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：
【要約】【目的】 運転時に溶融金属が加熱手段と接触・反応する不具合が生じず、常に安定した加熱を行うことができ、集束イオンビーム装置等に組み込むことによって長時間にわたり安定したイオンビームを供給し得る液体金属イオン源を提供する。【構成】 金属イオン源チップと熱源ランプを回転楕円面鏡のそれぞれの焦点上に配置し、熱源ランプからの光を金属イオン源チップに集光することによって、イオン源金属に対して非接触状態で加熱溶融を可能とする。
請求項（抜粋）：
金属を溶融させた状態で、この溶融金属と引き出し電極間に所定の電位を付与することによって上記金属のイオンを取り出すイオン源において、金属イオン源チップの保持手段、熱源ランプ、および回転楕円面鏡を備え、上記回転楕円面鏡の一方の焦点に上記熱源ランプが配設されているとともに、他方の焦点には上記金属イオン源チップが保持されるよう構成されていることを特徴とするランプ加熱式液体金属イオン源。
IPC (2件)：
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