特許

J-GLOBAL ID：200903086696143860

鉄-ニッケル系合金又は鉄-ニッケル-コバルト系合金の化学研磨液および化学研磨方法

発明者： 佐藤 孝彰 ,  安田 聡
出願人/特許権者： 日本表面化学株式会社
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-330159
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158869
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】 有害なNOxガスなどの発生がなく、しかも弗素及び有害物質などを含まない作業環境性、排水処理性の優れた鉄-ニッケル系合金又は鉄-ニッケル-コバルト系合金の化学研磨液を提供する。また鉄-ニッケル系合金又は鉄-ニッケル-コバルト系合金表面に良好で均一な光沢性、平滑性を付与する化学研磨液及び化学研磨方法を提供する。【解決手段】 過酸化水素85〜200g/l、硫酸100〜830g/lを成分とする酸性溶液と光沢強化剤を0.01〜50g/lを含有する鉄-ニッケル系合金又は鉄-ニッケル-コバルト系合金の化学研磨液。光沢強化剤は界面活性剤、アルコール又はエーテル、有機酸又はこの化合物からなる群から選ばれた1種又は2種以上である。

請求項（抜粋）：

過酸化水素85〜200g/l、硫酸100〜830g/lを成分として含有する、鉄-ニッケル系合金又は鉄-ニッケル-コバルト系合金の化学研磨液。