特許
J-GLOBAL ID：200903086699363445
位相差測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-156632
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005656
出願日： 1991年06月27日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：
【要約】【目的】透明膜の位相差を高精度に測定し、しかも位相差が小さい透明膜の位相差測定も可能にする。【構成】反射板からなる基板12の反射面12aに被測定透明膜10を形成し、レーザ1からの光を偏光子2と光弾性変調器3とを介して前記透明膜10に入射させるとともに、この透明膜10を透過して基板12の反射板面12aで反射され再び透明膜10を透過して出射する光を検光子4を介して光検出器5により検出し、この検出光の強度の変化に基づいて透明膜10の位相差を算出する。
請求項（抜粋）：
光学的異方性をもった透明膜の位相差を測定する方法において、反射板からなる基板の反射面に被測定透明膜を形成し、レーザからの光を偏光子と光弾性変調器とを介して前記透明膜に入射させるとともに、この透明膜を透過して前記基板の反射面で反射され再び前記透明膜を透過して出射する光を検光子を介して光検出器により検出し、この検出光の強度の変化に基づいて前記透明膜の位相差を算出することを特徴とする位相差測定方法。
IPC (2件)：
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