特許

J-GLOBAL ID：200903086702067178

石英ガラスの純化方法

発明者： 上嶋 信幸 ,  斉藤 正行 ,  木村 春樹 ,  安部 茂
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-125336
公開番号（公開出願番号）：特開平5-301731
出願日： 1983年01月14日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】 長時間使用しても失透や変形を起こさないこと。【構成】 天然の水晶を溶融させたのち固化して固体の石英ガラスを作り、加熱下で10kV〜50kVの直流電圧をその固体の石英ガラスに印加することによって固体の石英ガラス中のアルカリ金属及び銅を移動させて、Na ,K,Li のアルカリ金属をそれぞれ0.5ppm 以下にし、銅を0.03ppm 以下にし、1200°Cにおける粘性を1012ポイズ以上にすることを特徴とする石英ガラスの純化方法。

請求項（抜粋）：

天然の水晶を溶融させたのち固化して固体の石英ガラスを作り、加熱下で10kV〜50kVの直流電圧をその固体の石英ガラスに印加することによって固体の石英ガラス中のアルカリ金属及び銅を移動させて、Na ,K,Li のアルカリ金属をそれぞれ0.5ppm 以下にし、銅を0.03ppm 以下にし、1200°Cにおける粘性を1012ポイズ以上にすることを特徴とする石英ガラスの純化方法。

IPC (3件)：

C03B 32/00 ,  C03B 20/00 ,  H01L 21/22