特許

J-GLOBAL ID：200903086705967080

フッ化物結晶製造用ルツボおよびフッ化物結晶の製造方法

発明者： 北村 郁夫 ,  高野 修一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン ,  応用光研工業株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 隆男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-198983
公開番号（公開出願番号）：特開2005-035825
出願日： 2003年07月18日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：

【課題】紫外域や真空紫外域の透過率の高い高品質なフッ化物単結晶を安定的に製造するためのフッ化物結晶製造用ルツボおよびフッ化物結晶の製造方法を提供することができる。【解決手段】フッ化物材料とフッ素化剤を熔融してフッ化物結晶を製造するためのフッ化物結晶製造用ルツボであって、ルツボは、フッ化物材料とフッ素化剤を入れるための本体部と、本体部を覆う蓋部からなり、本体部と前記蓋部は互いに固定可能であって、本体部及び前記蓋部の少なくともどちらか一方に、ルツボ内の圧力を制御するための圧力調整機構を有する構成とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

フッ化物材料とフッ素化剤を熔融してフッ化物結晶を製造するためのフッ化物結晶製造用ルツボであって、 前記ルツボは、フッ化物材料とフッ素化剤を入れるための本体部と、 前記本体部を覆う蓋部からなり、 前記本体部と前記蓋部は互いに固定可能であって、 前記本体部及び前記蓋部の少なくともどちらか一方に、前記ルツボ内の圧力を制御するための圧力調整機構を有することを特徴とするフッ化物結晶製造用ルツボ。

IPC (2件)：

C30B11/00 ,  C30B29/12

FI (2件)：

C30B11/00 C ,  C30B29/12

Fターム (8件)：

4G077AA02 ,  4G077BE02 ,  4G077CD02 ,  4G077EA02 ,  4G077EG01 ,  4G077HA01 ,  4G077MA01 ,  4G077MB04