圧電アクチュエータ及びそれを用いたヘッド支持機構及びそれを用いた磁気ディスク装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167868
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357377
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】圧電アクチュエータを用いたヘッドの微小位置決め機構において、静電容量を小さくして、電流容量の小さな駆動回路で動かすことができるようにし、かつ、分極崩壊、絶縁破壊、マイグレーション等の危険性を低くし、信頼性を向上させる。【解決手段】圧電アクチュエータを単層にするか、もしくは層数の少ない積層構造とし、1層あたりの厚さを厚くする。さらに、電極の面積を可能な限り小さくする。

請求項（抜粋）：

板状の単層圧電アクチュエータにおいて、その長手方向に平行な2つの変位発生部を有し、前記変位発生部が互いに伸縮することにより揺動運動を発生させることを特徴とする圧電アクチュエータ。

Fターム (2件)：

5D096NN03 , 5D096NN07

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