特許
J-GLOBAL ID：200903086714366871
クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-234506
公開番号（公開出願番号）：特開平6-079257
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【構成】 一次純水製造装置(1) と二次純水製造装置(2) によって高温超純水を製造し、超純水使用後の濃厚排水を多重効用濃縮装置(5) によって濃縮し、さらに蒸発乾固装置(6) によって固形化し、該濃縮装置および乾固装置から出た回収水を一次純水製造装置へリサイクルし、希薄排水中の低沸点成分を、必要に応じて低沸点成分処理装置(7) によって冷却を行いながら処理した後、一次純水製造装置へリサイクルし、多重効用濃縮装置の濃縮水、および低沸点成分処理装置の濃縮水を、処理過程で冷却した後、イオン交換装置(8) によって無機イオン類を除去し、イオン交換装置から出た回収水を一次純水製造装置へリサイクルする、クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法である。【効果】 薬品使用量を削減し、排水処理装置の負荷を低減し、簡単なプロセスで超純水製造および排水処理を一貫して行うことができる。
請求項（抜粋）：
一次純水製造装置と二次純水製造装置によって高温超純水を製造し、超純水使用後の濃厚排水を多重効用濃縮装置によって濃縮し、さらに蒸発乾固装置によって固形化して処理し、該濃縮装置および乾固装置から出た回収水を一次純水製造装置へリサイクルし、超純水使用後の希薄排水中の低沸点成分を、必要に応じて低沸点成分処理装置によって自己蒸発過程による排水の冷却を行いながら処理した後、一次純水製造装置へリサイクルし、多重効用濃縮装置の濃縮水、および適宜設けられる低沸点成分処理装置の濃縮水を、処理過程で冷却した後、イオン交換装置によって無機イオン類を除去し、イオン交換装置から出た回収水を一次純水製造装置へリサイクルする、クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法。
IPC (4件)：
C02F 1/04
, C02F 1/00
, C02F 1/42
, C02F 9/00
