特許
J-GLOBAL ID：200903086716650194
光マイクロミラーならびにマイクロミラーの製造方法、この方法により得られる複数マイクロミラーのアレイ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-564646
公開番号（公開出願番号）：特表2004-522997
出願日： 2002年02月13日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
本発明は、固定部と、連結手段によって前記固定部に接続される可動部とを有し、該可動部がさらに反射手段を備えている光マイクロミラーを製造するための方法に関するものである。この方法は、(a)構造基板21と、熱酸化材料からなる第1の層22と、可動部を形成するための、材料からなる少なくとも一つの第2の層26と、から形成される積層体を作製し、(b)連結手段27を作製し、(c)第2の層上に反射手段29を作製し、(d)材料からなる少なくとも第2の層をエッチングすることによって可動部を作製し、(e)可動部を開放するように熱酸化層を除去する工程を有している。利用可能な用途は、光ルーティングもしくは像投影システムである。
請求項（抜粋）：
固定部と、連結手段によって前記固定部に接続される
可動部とを有し、該可動部がさらに反射手段を備えている光マイクロミラーを製造するための方法において、
(a)構造基板(31)と、第1の層(32,42)と称される特定の厚さの熱酸化材料からなる犠牲層と、可動部を形成するための、第2の層(41′)と称される材料からなる少なくとも一つの層を有する組と、から形成される積層体を作製し、
(b)連結手段(47)を作製し、
(c)少なくとも一つのパターンが得られるように、少なくとも前記材料からなる第2の層をエッチングすることによって前記可動部を作製し、
(d)前記可動部が自由になるように前記犠牲層を少なくとも部分的に取り去り、これにより、前記可動部が、前記連結手段によって前記固定部に相当する該マイクロミラーの残りの部分に結合するようにする
工程を有していることを特徴とする方法。
IPC (3件)：
G02B26/08
, B81B3/00
, B81C1/00
G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81C1/00
2H041AA05
, 2H041AA06
, 2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
