ポジ型感光性組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-211137
公開番号（公開出願番号）：特開2000-047386
出願日： 1998年07月27日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用に好適なポジ型感光性組成物を提供することであり、具体的には250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度、解像度及びレジストパターンを与え、更に十分な耐ドライエッチング性を示すポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び特定の構造の多環型の脂環式基のうち少なくとも1つと、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基とを有する樹脂を含有するポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)下記一般式(I)で表される1価の多環型の脂環式基のうち少なくとも1つと、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基とを有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)中、Ra 〜Rg は同じでも異なっていてもよく、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基もしくはアルキニル基、ハロゲン原子、シアノ基、-R6 -O-R7 基、-R8 -CO-O-R9 基、-R10-CO-NR11R12基又は-R13-O-CO-R14基を表す。R7 、R9 は同じでも異なっていてもよく、水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基もしくはアルケニル基、又は酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を表す。R11〜R12、R14は同じでも異なっていてもよく、水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表し、R11とR12が結合して環を形成しても良い。R6 、R8 、R10、R13は同じでも異なっていてもよく、単結合もしくは、置換基を有していても良い、アルキレン基、アルケニレン基、又はシクロアルキレン基を表す。ここで、Ra 〜Rg のうち少なくとも2個が、同一炭素原子上に置換する場合、その2個でカルボニル基(=O)又はチオカルボニル基(=S)を表しても良く、更にRa 〜Rg のうち少なくとも2個が、隣接する炭素原子上に置換する場合はその2個で互いに結合し、それら炭素原子間の二重結合を表しても良い。また、Ra 〜Rg のうち少なくとも2個が互いに結合して環を形成してもよい。一般式(I)で表される1価の多環型の脂環式基の結合手の位置は、それら炭化水素多環構造中のいずれの位置でも良い。

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 , C08F 2/50 , G03F 7/30 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 , C08F 2/50 , G03F 7/30 , H01L 21/30 502 R

Fターム (46件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA09 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025CB06 , 2H025CB07 , 2H025CB14 , 2H025CB15 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096BA11 , 2H096EA03 , 2H096EA05 , 2H096GA09 , 4J011QA08 , 4J011QA32 , 4J011QA34 , 4J011QA37 , 4J011QA39 , 4J011QA48 , 4J011QC07 , 4J011RA03 , 4J011RA04 , 4J011RA10 , 4J011RA11 , 4J011RA12 , 4J011SA73 , 4J011SA75 , 4J011SA78 , 4J011SA83 , 4J011SA87 , 4J011TA03 , 4J011UA01 , 4J011UA06 , 4J011VA01

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