特許
J-GLOBAL ID：200903086719305625
微小可動機械とその作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-014405
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259477
出願日： 1992年01月30日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 支持ばねの復元力を小さくして微小可動機械の駆動電圧を下げる。【構成】 支持ばね21はその両端が可動構造体1と支持台3のそれぞれ接続しており、支持ばね21の上下方向の弾性力により可動構造体1をガラス基板4の上につり上げている。支持ばね21の厚さを可動構造体1の厚さより薄くして支持ばねの復元力を小さくする。可動構造体1が周囲の固定電極から印加された静電気力によって図の左右方向に運動するとき、支持ばね21に伸び縮みの変形が生じるが、支持ばねが可動構造体より薄いため従来より小さな力で復元させることができ駆動電圧を下げることができる。
請求項（抜粋）：
単結晶シリコンの可動部本体と、それを支える単結晶シリコンの支持台と、両者の間をつなぐ支持ばねを有する微小可動機械において、支持ばねの厚さが可動部本体の厚さと異なることを特徴とする微小可動機械。
引用特許：
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