特許
J-GLOBAL ID：200903086722363393
単結晶引上装置における不活性ガス回収装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-181674
公開番号（公開出願番号）：特開平7-033581
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】【目的】 シリコン等の単結晶引上げ装置における不活性ガスの回収装置において、従来から用いられている油回転式真空ポンプ及び水封式真空ポンプの使用に起因する問題点をいずれも解消する。【構成】 単結晶引上装置にドライ真空ポンプ及び不活性ガスの精製装置を順次接続し、該単結晶引上装置内に流される不活性ガスの循環系を形成する。
請求項（抜粋）：
単結晶引上装置にドライ真空ポンプ及び不活性ガスの精製装置を順次接続し、該単結晶引上装置内に流される不活性ガスの循環系を形成したことを特徴とする単結晶引上装置における不活性ガス回収装置。
IPC (3件)：
C30B 15/00
, C01B 23/00
, C30B 29/06 502
