特許

J-GLOBAL ID：200903086724765642

永久帯電防止性を有するシリコンウェーハーキャリア

発明者： 張 恩来 ,  山本 敏
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003057
公開番号（公開出願番号）：特開平9-194703
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：

【要約】【課題】 ポリエステル樹脂のもつ優れた特性を保持しつつ、永久帯電防止性に優れ、且つ金属不純物の成形品表面への滲出が極めて少なく、シリコンウェーハーの表面汚れとして支障を及ぼさない程度まで永久的な帯電防止性を備えたポリエステル樹脂組成物からなるシリコンウェーハーキャリアを提供する。【解決手段】 ポリエステル樹脂に流動性が良好な制電性ポリマー(ポリエーテルエステルアミド)を配合した樹脂組成物より成形されたシリコンウェーハーキャリア。

請求項（抜粋）：

(A)固有粘度が0.6〜1.20である熱可塑性ポリエステル樹脂100重量部に対して、(B)ポリエーテルエステルアミドであって、260°Cでの見掛けの剪断速度1000sec-1における見掛けの溶融粘度が10〜1000(Pa・S)の範囲にありかつポリエステル樹脂の見掛けの溶融粘度に対する比が0.01〜1の範囲にあるポリエーテルエステルアミドを5〜30重量部の範囲で配合して得られるポリエステル樹脂組成物から成形された永久帯電防止性を有するシリコンウェーハーキャリア。

IPC (2件)：

C08L 67/02 LPG ,  H01L 21/68

FI (2件)：

C08L 67/02 LPG ,  H01L 21/68 T