堆積膜形成装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 緒方雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-283615
公開番号（公開出願番号）：特開2009-108385
出願日： 2007年10月31日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：

【課題】膜厚や膜特性の均一性に優れ、画像欠陥の少ない堆積膜を生産性良く形成することができる堆積膜形成装置を提供する。【解決手段】基体ホルダ107の上部には、反応容器の上蓋(不図示)に接続される接続部202と、接続部202に対して回転可能に設けられた支軸203と、接続部202と支軸203との間に介在する摺動部206とを有する接続体201が設けられている。基体ホルダ107が反応容器の内部に設置されたとき、基体ホルダ107の下部は回転支持機構(不図示)を介して反応容器の底板(不図示)に電気的に接続される。一方、基体ホルダ107の上部は接続体201を介して反応容器の上蓋に電気的に接続され、摺動部206は接続部202によって反応容器の内部空間から隔てられる。【選択図】図2A

請求項（抜粋）：

上蓋と底板とを備え、内部を減圧可能な反応容器と、前記反応容器の内部を減圧する排気手段と、円筒状基体を保持し、前記反応容器の内部に設置される基体ホルダと、該基体ホルダの下部を回転可能に保持する保持手段と、堆積膜形成用の原料ガスを前記反応容器の内部に導入する原料ガス導入手段と、前記原料ガスを励起させる放電エネルギーを印加する印加手段と、を有し、前記円筒状基体の上に堆積膜を形成する堆積膜形成装置において、前記基体ホルダの上部には、前記上蓋に接続される接続部と、該接続部に対して回転可能に設けられた支軸と、前記接続部と前記支軸との間に介在する摺動部とを有する接続体が設けられており、前記基体ホルダが前記反応容器の内部に設置されたとき、前記基体ホルダの下部が前記保持手段を介して前記底板に電気的に接続され、前記基体ホルダの上部が前記接続体を介して前記上蓋に電気的に接続され、かつ、前記摺動部は前記接続部によって前記反応容器の内部空間から隔てられることを特徴とする堆積膜形成装置。

IPC (2件)：

C23C 16/505 , H01L 21/205

FI (2件)：

C23C16/505 , H01L21/205

Fターム (38件)：

4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA13 , 4K030AA14 , 4K030AA17 , 4K030AA18 , 4K030BA29 , 4K030BA30 , 4K030BB03 , 4K030BB04 , 4K030CA02 , 4K030CA16 , 4K030FA03 , 4K030GA02 , 4K030GA06 , 4K030GA12 , 4K030KA05 , 4K030KA14 , 4K030LA15 , 4K030LA16 , 4K030LA17 , 5F045AA08 , 5F045AB04 , 5F045AC01 , 5F045AC16 , 5F045AC17 , 5F045AD06 , 5F045AD07 , 5F045AE19 , 5F045BB01 , 5F045CA16 , 5F045DA67 , 5F045DP25 , 5F045DP28 , 5F045EB06 , 5F045EH15 , 5F045EH19 , 5F045EK07

引用特許：

出願人引用 (3件)

特許第2776087号公報
実開平7-010934号公報
特許第2907404号公報

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