特許

J-GLOBAL ID：200903086732183903

質量及び熱流量測定センサ

発明者： スミス、アラン、エル
出願人/特許権者： スミス、アラン、エル
代理人 (1件)： 小島 高城郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-523542
公開番号（公開出願番号）：特表2001-525543
出願日： 1998年12月02日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：

【要約】【課題】 質量及び熱流量を測定するセンサを提供する。【解決手段】 質量及び熱流量測定センサが、水晶微量秤等のマイクロ共振子と、等温熱伝導熱量計等の熱流量センサ(c)と、熱流量センサに熱的に結合されたヒートシンク(d)とを有する。マイクロ共振子表面上の試料(8)の質量変化を測定し、マイクロ共振子に熱的に結合された熱流量センサにより試料(8)からの熱流量を測定できる。さらに、この質量及び熱流量測定センサを用いることにより試料(8)の質量及び試料(8)からヒートシンク(d)への熱の流れを測定する方法が提供される。

請求項（抜粋）：

(a)周縁と、試料に直接接触する第1の面と、該試料に接触しない反対側の第2の面とをもつ圧電性基板を具備し、該圧電性基板が共振周波数をもちかつその共振周波数に基づいて測定信号を発生することができるマイクロ共振子と、 (b)前記マイクロ共振子の前記圧電性基板に対して熱的に結合された熱流量センサと、 (c)前記熱流量センサに対して熱的に結合されたヒートシンクとを有する 質量及び熱流量測定センサ。

IPC (4件)：

G01G 3/16 ,  G01K 17/06 ,  G01N 5/02 ,  G01N 25/18

FI (4件)：

G01G 3/16 ,  G01K 17/06 ,  G01N 5/02 A ,  G01N 25/18 J

Fターム (7件)：

2F056YF00 ,  2F056YP03 ,  2F056YP07 ,  2G040AB08 ,  2G040CA08 ,  2G040CA22 ,  2G040FA06