スラブ光導波路を利用した露点測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工業技術院物質工学工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244020
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110300
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】レーザー等の高価な光源を使用することなく、空気、その他のガス中の水分を高感度に測定できる露点測定装置を提供する。【構成】試料ガスとの接触表面14を設けた光導波路コア層11をもつスラブ光導波路10を有してなり、光導波路コア層11中に光13を入射して多重反射を行わせ、出射光を得て、光導波路コア層表面14に付着した露16による出射光の光散乱特性を測定する。

請求項（抜粋）：

試料ガスとの接触表面を設けた光導波路層をもつスラブ光導波路を有してなり、光導波路コア層中に光を入射して多重反射を行わせ、出射光を得て、光導波路コア層表面に付着した露による出射光の光散乱特性を測定することを特徴とするスラブ光導波路を利用した露点測定装置。

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-262244
特開平4-262244
特公平5-033344

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