特許
J-GLOBAL ID：200903086740986446
周期ずれ補正装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-274456
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110215
出願日： 1994年10月12日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 周期性パターンについての周期ずれを、そのパターンの画像信号に基づき、読み取り分解能未満の単位で補正する。【構成】 周期値に対する要求精度に応じて自然数Nを選定し、周期記憶部30に記憶されていた周期値のN倍から1だけ少ない画素数分だけ画像信号SIを遅延回路部20によって遅延させて第1遅延信号A1を得る。レジスタ22a、22bにより、この信号A1を更に1画素分遅延させた信号A2、2画素分遅延させた信号A3を得る。対象となる画像は予めブロック化されており、差分累積部26a〜26cは、それぞれ、信号SIとA1との差、信号SIとA2との差、信号SIとA3との差をブロック毎に累積して3種の累積値を得る。最小位置検出部28は、その3種のうちいずれが最小かを判定し、その結果に応じ周期記憶部は、そのブロックの周期値として記憶されていた値に-1/N、0、+1/Nのいずれかを加算することにより、周期値を補正する。
請求項（抜粋）：
所定方向に周期性を有するパターンが形成された物体を画像入力手段で走査して得られる画像信号に基づき、予め設定された周期値に対する前記パターンの周期値のずれを補正する装置において、a)前記画像信号によって表わされる画像の所定領域におけるパターンの周期値を記憶する記憶手段と、b)前記所定領域内において前記所定方向に隣接する少なくとも3個の画素に着目し、周期値に対する要求精度に応じて予め選定された自然数Nに基づき、着目画素群の各画素について、該画素の値と着目画素群の中央の画素から記憶手段に記憶された周期値のN倍だけ前記所定方向に離れた画素の値との差を求める差算出手段と、c)前記着目画素群を前記所定領域内において前記所定方向にシフトさせて前記差を累積することにより、前記着目画素群を構成する各画素の前記着目画素群内の相対的位置毎に差累積値を求める累積手段と、d)前記画像入力手段の分解能の1/Nを単位とし、前記差累積値が最小である前記相対位置に対応する補正値を、記憶手段に記憶されている周期値に加算する補正手段と、を備えることを特徴とする周期ずれ補正装置。
IPC (6件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G02F 1/13 101
, G06T 7/00
, H01L 21/027
, H01L 21/66
G06F 15/62 405 A
, H01L 21/30 515 D
