特許
J-GLOBAL ID：200903086748206334
タッチ信号プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121344
公開番号（公開出願番号）：特開平7-324924
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】 測定子の被測定物への接触を高感度で判定できるタッチ信号プローブを提供する。【構成】 被測定物1と接触する測定子3と、一端に接触部4Aを有し略中央部が保持部5で保持された振動子4と、この振動子4の保持部5に対する保持点を振動の節にして振動子4を振動させる加振手段8Aと、前記振動子4の振動変化から前記測定子3の被測定物1への接触を検出する検出手段8Bと、前記測定子3が取り付けられ前記接触部4Aに所定の圧力を予め付与するプリロード付与手段6と、を備えてタッチ信号プローブを構成し、検出手段8Bで検出される検出信号が予め高感度特性領域内に位置するようにした。
請求項（抜粋）：
被測定物と接触する測定子と、一端に接触部を有し略中央部が保持部で保持された振動子と、この振動子の保持部に対する保持点を振動の節にして振動子を振動させる加振手段と、前記振動子の振動変化から前記測定子の被測定物への接触を検出する検出手段と、前記測定子が取り付けられ前記接触部に所定の圧力を予め付与するプリロード付与手段と、を備えたことを特徴とするタッチ信号プローブ。
IPC (2件)：
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