静電チヤツク装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-250411
公開番号（公開出願番号）：特開平5-063063
出願日： 1991年09月02日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】低い電圧で強力な吸着力を実現しかつ被吸着体の着脱時間を短縮すると共に、絶縁層の帯電による悪影響を防止する。【構成】静電チャック装置において、セラミックス等の基板上に非磁性かつ非晶質のニッケル系合金をメッキすることにより吸着用電極を形成し、かつ該吸着用電極の上に絶縁体層を堆積により形成する。また、吸着用電極に対応する吸着面以外の絶縁体層の大部分を導電性材料でコーティングし、かつ該導電性材料を接地する。

請求項（抜粋）：