特許

J-GLOBAL ID：200903086751812237

SEM観察用サンプル及びSEM観察用サンプルの調製方法

発明者： 松本 則子 ,  山本 浩史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 吉田 勝広 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248132
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074619
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 SEM観察用サンプルにおいて、微小なサンプルを埋込んで固定するための樹脂に絶縁性樹脂を用ているにもかかわらず、サンプル周囲の絶縁性樹脂面上のSEMの電子ビームの照射に伴う電荷の蓄積が抑制され、鮮明なSEM画像を得ることが可能なSEM観察用サンプルの提供。【解決手段】 対象サンプルが絶縁性樹脂によって埋込まれて固定されているSEM観察用サンプルにおいて、上記絶縁性樹脂中に導電体が封入され、対象サンプルの少なくとも一部分が測定平面に研磨されて露出し、且つ、上記導電体が、その少なくとも一部が上記対象サンプルに接触し、更に、該導電体の少なくとも一部が上記測定平面上の対象サンプルを取り囲む位置、及び、該平面に対向する平面上の夫々に露出するように配置されているSEM観察用サンプル。

請求項（抜粋）：

走査型電子顕微鏡(SEM)観察を行うための対象サンプルが絶縁性樹脂によって埋込まれて固定されている走査型電子顕微鏡観察用サンプルにおいて、上記絶縁性樹脂中に導電体が封入され、上記対象サンプルの少なくとも一部分が測定平面に研磨されて露出しており、且つ、上記導電体が、該導電体の少なくとも一部が上記対象サンプルに接触し、更に、該導電体の少なくとも一部が上記測定平面上の対象サンプルを取り囲む位置、及び該測定平面に対向する平面上の夫々に露出するように配置されていることを特徴とするSEM観察用サンプル。

IPC (6件)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/36 ,  G01N 1/32 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/00 ,  H01J 37/20

FI (6件)：

G01N 1/28 G ,  G01N 1/32 A ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/00 ,  H01J 37/20 Z ,  G01N 1/28 R

Fターム (17件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA12 ,  2G001HA09 ,  2G001JA12 ,  2G001LA11 ,  2G001QA02 ,  2G001RA01 ,  2G001RA08 ,  2G001RA20 ,  5C001AA01 ,  5C001AA08 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04