特許
J-GLOBAL ID：200903086759666264
顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-164367
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344664
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 被検物体が周期パターンを有する場合でも、焦点ボケを生じない焦点検出手段付き顕微鏡。【解決手段】 被検物体24の被検面23が第1対物レンズ2の焦点位置から大きくずれているときは、第1及び第4光検出器17、20からの信号によるフォーカスエラー信号に基づいてフォーカスサーボをかける。そして、被検物体24の被検面23が第1対物レンズ2の焦点位置に近づき、あらかじめ設定しておいた範囲内に被検物体24の被検面23が来たときに、第2及び第3光検出器18、19からの信号による2つのコントラスト信号が等しくなるようにフォーカスサーボをかける。この制御方法では、周期パターンを有する被検物体を観察する場合であっても、焦点ボケなしに被検物体を観察することができる。
請求項（抜粋）：
対物レンズを含む観察光学系と、被検物体を搭載するためのステージと、前記対物レンズの焦点位置からの前記被検物体の位置ずれを検出する焦点検出手段とを有する顕微鏡であって、前記焦点検出手段は、前記対物レンズを通して前記被検物体にライン状の照明光を照射する照明光学系と、前記被検物体で反射されて再び前記対物レンズを通過した前記照明光の反射光を集光する集光光学系と、前記集光光学系の集光した前記反射光を分割する光路分割手段と、前記光路分割手段を介して分割された光の各々に基づいて形成された第1、第2、第3及び第4像を検出する第1、第2、第3及び第4検出手段と、前記第1及び第4検出手段の検出した前記反射光のライン幅の差に対応するフォーカス情報信号を得る第1演算部と、前記第2及び第3検出手段の検出した前記反射光のコントラスト信号を求めてフォーカス情報信号を得る第2の演算部とを備え、前記第1及び第4検出手段は、前記被検物体が前記対物レンズの焦点位置にほぼ一致している状態で、前記第1及び第4像をベストフォーカス位置の両側のデフォーカス位置で検出し、前記第2及び第3検出手段は、前記被検物体が前記対物レンズの焦点位置にほぼ一致している状態で、前記第2及び第3像をベストフォーカス位置の両側のデフォーカス位置で検出することを特徴とする顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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