特許
J-GLOBAL ID：200903086770472811
窒化珪素質焼結体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-324731
公開番号（公開出願番号）：特開平8-175873
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：
【要約】【目的】高温において優れた耐酸化性を有するとともに室温から1500°Cまでの高い抗折強度を有する窒化珪素質焼結体を得る。【構成】α-窒化珪素を90%以上含有する窒化珪素粉末を70〜97モル%と、酸化珪素及び周期律表第3a族酸化物を合計で3〜30モル%からなり、SiO2 量の周期律表第3a族元素の酸化物換算量に対する比率が2以上の割合からなる混合粉末を成形し、この成形体を1500〜1700°Cの温度でβ-窒化珪素の量が70%以上、粒界結晶相にダイシリケートおよび/またはモノシリケートが析出した焼結体を得、さらに1700°Cを超える温度で焼成し、窒化珪素結晶の平均粒径5μm以下、該結晶粒子の粒界がダイシリケートおよび/またはモノシリケートの結晶相からなり、窒素原子を含む結晶相が存在しない焼結体を得る。
請求項（抜粋）：
β-窒化珪素を70〜97モル%含有し、周期律表第3a族元素化合物および不純物的酸素を周期律表第3a族元素化合物の酸化物換算および不純物的酸素のSiO2 換算量で合計3〜30モル%含有され、前記不純物的酸素のSiO2 換算量の前記周期律表第3a族元素化合物の酸化物換算量に対するモル比が2以上の組成からなる焼結体であって、前記窒化珪素が平均粒径5μm以下の結晶粒子として存在するとともに、該結晶粒子の粒界相がダイシリケートおよび/またはモノシリケートの結晶相からなり、窒素原子を含む結晶相が存在しないことを特徴とする窒化珪素質焼結体。
引用特許：
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