特許

J-GLOBAL ID：200903086777585794

物体表面形状の異常検査方法

発明者： 木藤 正章 ,  河村 達次
出願人/特許権者： 宇部興産株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-228216
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094339
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】 物体表面形状を短時間で、連続的に自動計測し、かつ、測定結果を定量化された尺度で明確に判定評価できる物体表面形状の異常検査方法を提供する。【構成】 物体を光源やカメラに対して相対運動させるとともに、反射像を連続的に動画像処理し、物体表面に存在する凹凸やうねりを入射光の反射角度の正常値に対する偏差として捕捉する。

請求項（抜粋）：

物体の表面に点光源またはスリット光源を投射してその反射像をカメラで撮影して映像処理する装置において、該物体を該光源や該カメラに対して相対運動させるとともに、該相対運動中得られた反射像を連続的に前記画像処理装置に入力して動画像処理し、該物体表面に存在する凹凸やうねりに起因する異常状態を該物体表面における入射光の反射角度の正常値に対する偏差として捕捉することを特徴とする物体表面形状の異常検査方法。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (2件)：

G06F 15/62 400 ,  G06F 15/62 415

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-220808
  
• 特開昭59-203906
  
• シート板表面のうねり検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-154623   出願人：東洋紡績株式会社