特許
J-GLOBAL ID：200903086788404732
多層膜およびこの多層膜の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-028582
公開番号（公開出願番号）：特開平9-202958
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】 リフレクタに被覆される接着層と機能層の第1層目との間に生ずる内部応力差および熱膨張差が原因となるクラックの発生を防ぐことを目的とする。【解決手段】 基板に被覆される多層膜において、前記基板の表面に光学的機能を有する機能層と前記基板との接着性を向上させる接着層を被覆し、この上層に前記接着層を形成する物質と前記機能層の第1層目を形成する物質との混合層を被覆し、この上層に前記機能層を被覆した。また、前記混合層を2元蒸着法により作成した。
請求項（抜粋）：
基板に被覆される多層膜において、前記基板の表面に光学的機能を有する機能層と前記基板との接着性を向上させる接着層が被覆され、この上層に前記接着層を形成する物質と前記機能層の第1層目を形成する物質との混合層が被覆され、この上層に前記機能層が被覆されたことを特徴とする多層膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/00 C
, C23C 14/06 M
