特許

J-GLOBAL ID：200903086791842805

吸引チャックプレート

発明者： 小倉 博文 ,  高橋 裕一
出願人/特許権者： 富士フィルター工業株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 重光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-301770
公開番号（公開出願番号）：特開2002-103264
出願日： 2000年10月02日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：

【要約】【課題】 (1)吸引抵抗を多様に設定することができ、従って所望の吸引力を得ることができ、(2)目詰まりが生じ難く、所望の吸引力を維持することができる、吸引チャックプレートを提供すること。【解決手段】 複数枚を積層して焼結した金網よりなる吸引チャックプレートにおいて、この吸引チャックプレートの表面側に配置された金網がフラット加工されてなることを特徴とする。【効果】 上記課題が解決される。

請求項（抜粋）：

複数枚を積層して焼結した金網よりなる吸引チャックプレートにおいて、この吸引チャックプレートの表面側に配置された金網がフラット加工されてなることを特徴とする、吸引チャックプレート。

IPC (5件)：

B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  B65H 5/14 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

B25J 15/06 G ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 G ,  B65H 5/14 B ,  H01L 21/68 P ,  H01L 21/68 B

Fターム (28件)：

3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT01 ,  3C007FU00 ,  3C007NS09 ,  3C007NS11 ,  3C007NS17 ,  3F061AA01 ,  3F061CA01 ,  3F061CB01 ,  3F061CC00 ,  3F061DB00 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  3F101CE02 ,  3F101CE14 ,  3F101CE21 ,  3F101LA15 ,  3F101LB10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA04 ,  5F031FA07 ,  5F031GA24 ,  5F031GA25 ,  5F031GA26 ,  5F031GA33