光硬化性樹脂組成物及びパターン製造法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-121894
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310854
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像が可能で、現像性も良好であり、感度に優れ、硬化物の耐水性および耐溶剤性が優れ、さらに硬化物が弾性体の性質を有するアルカリ現像型の光硬化性樹脂組成物並びにアルカリ現像により良好に現像でき、硬化物の耐水性および耐溶剤性が優れ、さらに硬化物が弾性体の性質を有するパターンの製造法を提供する。【解決手段】末端に、下記式(1)で表される構造を有し、かつ、分子中にアルカリ現像性を付与する官能基を有する化合物(A)及び光重合開始剤(B)を含有してなる光硬化性樹脂組成物並びにこの光硬化性樹脂組成物を用いて膜を形成し、この膜に像的に光を露光し、アルカリ水溶液を用いて未露光部を除去することを特徴とするパターンの製造法。【化1】(式中、R1及びR4は、各々独立に水素原子又はメチル基を示し、R2、R3及びR5は、各々独立に2価の炭化水素基を示し、m及びnは正の整数を示す)

請求項（抜粋）：

末端に、次式(1)【化1】(式中、R1及びR4は、各々独立に水素原子又はメチル基を示し、R2、R3及びR5は、各々独立に2価の炭化水素基を示し、m及びnは正の整数を示す)で表される構造を有し、かつ、分子中にアルカリ現像性を付与する官能基を有する化合物(A)及び光重合開始剤(B)を含有してなる光硬化性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/027 513 , C08F 2/50 , C08F290/06 , G03F 7/038 , H05K 3/02

FI (5件)：

G03F 7/027 513 , C08F 2/50 , C08F290/06 , G03F 7/038 , H05K 3/02 B

Fターム (92件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AA06 , 2H025AB01 , 2H025AB03 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC34 , 2H025BC43 , 2H025BC64 , 2H025BC82 , 2H025BC83 , 2H025BC85 , 2H025CA00 , 2H025EA04 , 2H025FA17 , 4J011QA03 , 4J011QA13 , 4J011QA23 , 4J011QA34 , 4J011QB14 , 4J011QB24 , 4J011RA12 , 4J011SA01 , 4J011SA21 , 4J011SA51 , 4J011SA62 , 4J011SA63 , 4J011SA76 , 4J011SA79 , 4J011SA83 , 4J011UA01 , 4J011UA03 , 4J011WA01 , 4J027AB02 , 4J027AB03 , 4J027AB10 , 4J027AB15 , 4J027AB16 , 4J027AB18 , 4J027AB25 , 4J027AB28 , 4J027AB34 , 4J027AC03 , 4J027AC04 , 4J027AC06 , 4J027AE01 , 4J027AG01 , 4J027AG03 , 4J027AG04 , 4J027AG12 , 4J027AG13 , 4J027AG14 , 4J027AG23 , 4J027AG24 , 4J027AG27 , 4J027AJ01 , 4J027AJ02 , 4J027AJ05 , 4J027AJ08 , 4J027BA01 , 4J027BA07 , 4J027BA08 , 4J027BA09 , 4J027BA10 , 4J027BA12 , 4J027BA13 , 4J027BA15 , 4J027BA16 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA23 , 4J027BA24 , 4J027BA26 , 4J027CA03 , 4J027CA06 , 4J027CA08 , 4J027CA09 , 4J027CA10 , 4J027CB03 , 4J027CB10 , 4J027CC05 , 4J027CD10 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE12 , 5E339CF16 , 5E339CF17

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-043412
硬化性被覆材組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-349414 出願人：三菱レイヨン株式会社
特開昭61-278521

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