特許

J-GLOBAL ID：200903086803027193

振動アクチュエータの駆動方法および駆動装置

発明者： 松本 豪
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-281768
公開番号（公開出願番号）：特開平10-234191
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】 バースト信号による微小移動を可能とする。【解決手段】 振動アクチュエータ10を互いに異なる第1の駆動状態と第2の駆動状態とに切り替えるための制御器110と、所定の周波数および電圧を有する信号を生成する発振器1112と、圧電体12aに接続される出力端子Aと圧電体12b接続される出力端子Bとを備えた切り替え器115と、出力端子Bと圧電体12bとの間に接続され、入力した信号の電気的な位相を所定量変化させる移相器120とを備え、切り替え器115は、第1の駆動状態では出力端子Aと出力端子Bの双方から信号を出力し、第2の駆動状態では出力端子Aと出力端子Bのいずれか一方から信号を出力する。

請求項（抜粋）：

電気エネルギを機械的変位に変換する電気機械変換素子を有し、この電気機械変換素子に駆動信号を印加して振動を発生させることで駆動力を得る振動アクチュエータの駆動方法において、前記電気機械変換素子に第1の電気エネルギ入力部と第2の電気エネルギ入力部とを設け、前記第1の電気エネルギ入力部には第1の駆動信号を印加し、前記第2の電気エネルギ入力部には前記第1の駆動信号と電気的な位相が異なる第2の駆動信号を印加することで振動を発生させる第1の駆動状態と、第1の電気エネルギ入力部と前記第2の電気エネルギ入力部のいずれか一方に前記第1の駆動信号と前記第2の駆動信号のいずれか一方を印加することで振動を発生させる第2の駆動状態と、を選択可能にしたことを特徴とする振動アクチュエータの駆動方法。