特許

J-GLOBAL ID：200903086805165658

ステージ装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法ならびにステージ制御方法

発明者： 是永 伸茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-192896
公開番号（公開出願番号）：特開2000-029533
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 2つのアクチュエータを切り替えてステージを駆動する際の制御系の制定時間を短くする。【解決手段】 本発明のステージ装置は、同一のステージを駆動するための第1および第2の駆動機構と、該第1の駆動機構を制御するための第1の制御系と、該第2の駆動機構を制御するための第2の制御系と、該第2の制御系の信号を増幅して該第2の駆動機構に出力する増幅器と、該第1の駆動機構によって該ステージを駆動したときに生じた該ステージの位置または速度の偏差に応じた指令値を発生する指令値発生器とを備え、該ステージの駆動は、該第1および第2の駆動機構を切り替えて行い、該第1の制御系から該第2の制御系に切り替える際に、該指令値を該増幅器に入力し、これによりステージを駆動することにより、前記第2の駆動機構の制御を開始するときの初期位置偏差を小さくし、前記第2の制御系の制定時間の短縮を図る。

請求項（抜粋）：

同一のステージを駆動するための第1および第2の駆動機構と、該第1の駆動機構を制御するための第1の制御系と、該第2の駆動機構を制御するための第2の制御系と、該第2の制御系の信号を増幅して該第2の駆動機構に出力する増幅器と、該第1の駆動機構によって該ステージを駆動したときに生じた該ステージの位置または速度の偏差に応じた指令値を発生する指令値発生器とを備え、該ステージの駆動は、該第1および第2の駆動機構を切り替えて行い、該第1の制御系から該第2の制御系に切り替える際に、該指令値を該増幅器に入力し、これによりステージを駆動することを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：

G05D 3/12 305 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (8件)：

G05D 3/12 305 E ,  G03F 7/22 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 518

Fターム (39件)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031JA02 ,  5F031JA22 ,  5F031LA08 ,  5F031LA12 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046DA06 ,  5F046DA07 ,  5F046DA08 ,  5H303AA06 ,  5H303BB01 ,  5H303BB07 ,  5H303BB11 ,  5H303BB17 ,  5H303CC05 ,  5H303DD04 ,  5H303DD25 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303GG20 ,  5H303HH01 ,  5H303HH07 ,  5H303JJ01 ,  5H303KK01 ,  5H303KK16 ,  5H303KK17 ,  5H303KK37 ,  5H303LL02 ,  5H303MM05