特許

J-GLOBAL ID：200903086806970600

検査範囲認識方法

発明者： 佐藤 洋一
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-052208
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260701
出願日： 1994年03月23日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 ガラス板3に貼着した検査対象Wの検査領域を決定する。【構成】 照明部4により検査対象Wを照射し、検査対象Wの一部を撮像部5で撮像し、画像データを画像処理部6が入力する。画像処理部6は、入力する検査対象Wの中央付近の画像データの平均濃度値を求め、幅を持たせた基準濃度領域値を設定する。更に、検査対象Wの辺l1の画像データの一部を短冊状エリア8に分割し、短冊状エリア8の平均濃度値を求め、この平均濃度値と基準濃度領域値とを比較し、辺l1のエッジ点Qを複数求める。次いで複数のエッジ点Qから回帰直線を求め、回帰直線に囲まれた領域を検査領域Wとして認識する。

請求項（抜粋）：

基板とともに検査される検査対象の検査範囲を認識する方法であって、検査対象を撮像し、得られた撮像画像の中央部の平均濃度を求める工程と、検査範囲の境界が、その何れかの領域に含まれるように中央部から連続した矩形領域を設定する工程と、各矩形領域の平均濃度を求め、中央部に近い矩形領域から順に中央部の平均濃度と比較する工程と、比較の結果、所定値以上の差がはじめて検出された矩形領域を境界領域に決定し、境界領域内の基準点座標を求める工程と、同様の工程を繰返すことにより求められた複数の基準点座標に基づいて検査範囲を認識する工程とからなることを特徴とする検査範囲認識方法。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 9/20 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G06F 15/62 405 C ,  G06F 15/70 335 Z