特許

J-GLOBAL ID：200903086820666779

超小型機械的加速度センサ

発明者： ゲオルク・フラツハ ,  ウド・ノートヘルフエル ,  ギユンテル・シユーステル ,  ヘリベルト・ヴエーベル
出願人/特許権者： テミツク・テレフンケン・マイクロエレクトロニツク・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 中平 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-325789
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189716
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】 エッチング及びハーメチックシールのために複雑な手続きを用いることなく、半導体加速度センサを製造する。【解決手段】 第1の半導体ウエハ(10)及び第2の半導体ウエハ(20)から製造され、その際、第1の半導体ウエハ(10)上に、可変の容量を形成する少なくとも1つの第1の電極(12)が設けられており、かつ第2の半導体ウエハ(20)が、可動の第2の電極(21)を有する、超小型機械的加速度センサにおいて、第1の半導体ウエハ(10)上に、マイクロエレクトロニクス評価ユニット(14)が配置されている。

請求項（抜粋）：

第1の半導体ウエハ(10)及び第2の半導体ウエハ(20)から製造され、その際、第1の半導体ウエハ(10)上に、可変の容量を形成する少なくとも1つの第1の電極(12)が設けられており、かつ第2の半導体ウエハ(20)が、可動の第2の電極(21)を有する、マイクロ機械の加速度センサにおいて、第1の半導体ウエハ(10)上に、マイクロエレクトロニクス評価ユニット(14)が配置されていることを特徴とする、超小型機械的加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z