特許

J-GLOBAL ID：200903086824152192

操作の実行方法及びその装置

発明者： ペーターセン、ペーター・モスボーグ ,  ヴィラドセン、ヤン・アレクサンダー ,  エッベセン、ペーター
出願人/特許権者： クレフテンス・ベケンペルセ
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-519492
公開番号（公開出願番号）：特表平9-503704
出願日： 1994年07月15日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】ガス雰囲気における選択されたガス種の特定の分圧、あるいはそのガス雰囲気の特定の全圧の下で、材料を必要とする操作を実行する方法において、前記操作は、i)ガス雰囲気を収容する第1室(2)を形成する第1室壁(1)と、ii)前記第1室をほぼ包囲する第2室(4)を形成する第2室壁(3)とからなり、前記第2室が前記第1室壁と前記第2室壁の間にガス雰囲気を収容するハウジング内で実行し、その操作は、a)第2室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧が、それぞれ第1室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧よりも低く、そして、b)第2室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧が、それぞれ隣接する外部の第3室又は空間のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧よりも低い間に、前記第1室内で実行する。本発明は、さらに前述の操作を実行するハウジングに関する。

請求項（抜粋）：

ガス雰囲気における選択されたガス種の特定の分圧、あるいはそのガス雰囲気の特定の全圧の下で、材料を必要とする操作を実行する方法において、 前記操作は、i)ガス雰囲気を収容する第1室を形成する第1室壁と、ii)前記第1室をほぼ包囲する第2室を形成する第2室壁とからなり、前記第2室が前記第1室壁と前記第2室壁の間にガス雰囲気を収容するハウジング内で実行し、 その操作は、a)第2室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧が、それぞれ第1室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧よりも低く、そして、b)第2室のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧が、それぞれ隣接する外部の第3室又は空間のガス雰囲気の全圧又は選択されたガス種の分圧よりも低い間に、前記第1室内で実行する、操作の実行方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-262947
  
• 特開昭60-037977
  
• 特開昭57-083274