特許
J-GLOBAL ID：200903086825676632
イオン加速電極板およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-185085
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029093
出願日： 1991年07月25日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】冷却性能がよく、製作が容易に行え、耐腐蝕性に優れ、割れや剥離の問題がなく、耐久性に優れたイオン加速電極板およびその製造方法を提供する。【構成】モリブデン板にその厚さ方向に沿ってビーム孔14を多数穿設し、このビーム孔14と直交するモリブデン板平面方向に冷却水通路となる冷却孔10aを形成する。モリブデン板は、溝付きモリブデン板11と、その溝10形成面に拡散接合により密着されたモリブデン平板12とからなる。モリブデン平板12で蓋をされた溝10によって冷却孔10aを構成する。その冷却孔10aの周面部にセラミック被膜13を蒸着により形成する。
請求項（抜粋）：
イオンビームを通過させる多数のビーム孔をその表面と交差する方向に有するモリブデン板を主体として構成され、高電圧の印加により、前記ビーム孔を通過するイオンビームを加速するイオン加速電極板において、前記モリブデン板は拡散接合により一体化された重合板構造とするとともに、その重合面に沿う配置で前記ビーム孔と隣接する管状空間からなる冷却水流通用の冷却孔を有し、かつその冷却孔の周面部をセラミック被膜層で被覆したことを特徴とするイオン加速電極板。
IPC (4件)：
H05H 1/22
, G21B 1/00
, H01J 27/02
, H01J 37/08
