特許
J-GLOBAL ID：200903086834470788
ディスク状のサブストレートを気密に挿入しかつ取り出すための装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-246825
公開番号（公開出願番号）：特開平6-212427
出願日： 1993年10月01日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：
【要約】【目的】 個々の駆動部材の運動を申し分なく互いに調整でき、これによりサイクル時間が著しく減少されかつ単位時間当たりのサブストレートにおける装置の生産性が高められるように、装置を改良することにある。【構成】 ディスク状のサブストレートを気密に真空・コーティング室内に挿入しかつ真空・コーティング室から取り出すための、及び、サブストレートを真空・コーティング室内で搬送するための装置が、少なくとも1つのローディング・アンローディングステーションと、少なくとも1つのコーティングステーションと、少なくとも1つの持上げ部材と、回転可能に支承された少なくとも1つのサブストレート支持体とを有しており、この場合、持上げ部材と、一方はサブストレート支持体及び他方は駆動モータとの間に、周期的に持上げ運動並びに回転運動を生ぜしめる伝動装置が設けられている。
請求項（抜粋）：
ディスク状のサブストレートを気密に真空・コーティング室内に挿入しかつ真空・コーティング室から取り出すための、及び、サブストレートを真空・コーティング室内で搬送するための装置であって、少なくとも1つのローディング・アンローディングステーションと、少なくとも1つのコーティングステーション(9)と、少なくとも1つの持上げ部材と、回転可能に支承された少なくとも1つのサブストレート支持体と、持上げ部材及びサブストレート支持体を操作するための駆動モータとを有している形式のものにおいて、持上げ部材と、一方はサブストレート支持体及び他方は駆動モータとの間に、周期的に持上げ運動並びに回転運動を生ぜしめる伝動装置(3,28)が設けられていることを特徴とする、ディスク状のサブストレートを気密に挿入しかつ取り出すための装置。
引用特許：
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