特許
J-GLOBAL ID：200903086835465117
基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-345149
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176595
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 カセット内への基板の収容姿勢のいかんにかかわらず、基板の下方に基板支持アームを容易に挿入して基板を取り出すことができるようにする。【構成】 基板Wを支持する基板支持アーム23を水平方向および上下方向に移動可能に設け、基板支持アーム23をカセットC内に収容されている基板W間に挿入して基板Wを上昇させ、その下方の基板W1との間隙Sを大にし、その大きくした間隙S内に副アーム29を挿入し、副アーム29の先端に設けた、間隙Sよりも小さい厚みの押圧部材30を基板Wの奥側の外周端面に作用させ、基板Wを押圧してカセットCから基板Wを取り出す。
請求項（抜粋）：
基板を支持する基板支持アームを水平方向および上下方向に移動可能に設け、前記基板支持アームをカセット内に収容されている前記基板間に挿入して前記基板を上昇させ、その下方の基板との間隙を大にした状態で前記間隙内に挿入する副アームを水平方向に移動可能に設け、前記副アームの先端に前記基板の端面に押圧する押圧部材を設けるとともに、前記押圧部材の厚みを前記間隙よりも小に構成したことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G11B 7/26
, H01L 21/027
