特許
J-GLOBAL ID：200903086837982615
クライオポンプの評価方法および評価装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-049822
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249057
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：
【要約】【課題】 クライオポンプを迅速、かつ確実に評価できる評価方法の提供。【解決手段】 各ヒータ37,38の入力熱負荷に対する各冷却部52,53の実際の測定温度と、良好な性能状態(本来の性能を有している状態)にある時の前記入力熱負荷に対する基準温度とを比較してクライオポンプ10を評価する。従って、クライオポンプ10が設置される装置等を真空にする必要がなく、評価に要する時間を格段に短縮できる。また、クライオポンプ10のみに係るパラメータで評価できるので、純粋にクライオポンプ10を評価でき、よって評価結果の信憑性を向上させることができるうえ、従来のような再評価を不要にできる。以上により、クライオポンプ10を迅速、かつ確実に評価できる。
請求項（抜粋）：
第1段および第2段のクライオパネル面と、これらの第1段および第2段のクライオパネル面を冷却する第1段および第2段の冷却部とを備えるクライオポンプの評価方法であって、前記第1段の冷却部に、第1の加熱装置および第1の温度センサを設け、前記第2段の冷却部に、第2の加熱装置および第2の温度センサを設け、前記第1段および第2段の冷却部の前記各加熱装置の入力熱負荷に対する温度を前記各温度センサで測定し、その実際の測定温度と、前記各加熱装置の入力熱負荷に対する前記各冷却部の既知の基準温度との比較に基づいて前記クライオポンプの性能を評価することを特徴とするクライオポンプの評価方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04B 37/08
, F04B 37/16 A
3H076AA27
, 3H076BB45
, 3H076BB50
, 3H076CC51
, 3H076CC54
, 3H076CC81
, 3H076CC98
, 3H076CC99
