液/液式遠心分離器を用いて成膜性樹脂の金属イオン含有量を低減する方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：江崎光史 , 三原恒男 , 奥村義道 , 鍛冶澤實
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-509834
公開番号（公開出願番号）：特表2004-503355
出願日： 2001年05月26日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

本発明は、成膜性樹脂の金属イオン含有量を低減する方法を提供するものであり、この方法は、次の段階、すなわちa) 少なくとも一種の水不混和性溶剤を含んでなる水不混和性溶剤系中の成膜性樹脂の溶液を用意し; b) 水溶性金属イオンキレート化剤の希薄溶液または水を含んでなる洗浄溶液を用意し; c) 段階a)及びc)からの各溶液を、二つの別々の入口を通して液/液式遠心分離器に供給し、この際、上記入口の一つは段階a)からの溶液をそしてもう一方の入口は段階b)からの溶液を、約10/90 〜約90/10 の段階a)からの溶液:段階b)からの溶液の供給速度比及び約0°Cから水不混和性溶剤系中で最も沸点が低い水不混和性溶剤の沸点よりも低い最高温度までの範囲の温度で、上記液/液式遠心分離器に供給し; そしてd) 段階c)からの混合物を、これを二つの別々の相に分離するのに十分な回転速度で上記液/液式遠心分離器内で回転させ、そして生じた二つの別々の相を各々独立した出口を通して二つの別々の容器に収容し、この際重い方の相(H) は、水不混和性溶剤系中の低減された金属イオン含有量を有する成膜性樹脂と少量の水を含んでなり、そして軽い方の相(L) は、1) 金属イオンの水溶液、及び次の成分の少量の混合物、すなわち2) 水不混和性溶剤系と3) 成膜性樹脂との混合物を含んでなる、という段階を含む。また本発明は、上記方法によって調製された成膜性樹脂を使用する、フォトレジストの製造方法及び微細電子デバイスの製造方法も提供する。

請求項（抜粋）：

成膜性樹脂の金属イオン含有量を低減する方法であって、次の段階、すなわち a) 少なくとも一種の水不混和性溶剤を含んでなる水不混和性溶剤系中の成膜性樹脂の溶液を用意し、 b) 水溶性金属イオンキレート化剤の希薄溶液または水を含んでなる洗浄液を用意し、 c) 段階a)及びb)からの各溶液を二つの別々の入口を通して液/液式遠心分離器に供給し、この際、上記入口の一つは段階a)からの溶液を、そしてもう一方の入口は段階b)からの溶液を、約10/90 〜約90/10 の段階a)からの溶液:段階b)からの溶液の供給速度比及び約0°Cから水不混和性溶剤系中で最も沸点が低い水不混和性溶剤の沸点より低い最高温度までの範囲の温度で、上記液/液式遠心分離器に供給し、そして d) 段階c)からの混合物を、これを二つの別々の相に分離するのに十分な回転速度で上記液/液式遠心分離器内で回転させ、次いで生じた二つの別々の相を、各々独立した出口を通して、二つの別々の容器に収容し、この際、重い方の相(H) は、水不混和性溶剤系中の低減された金属イオン含有量を有する成膜性樹脂、及び少量の水を含んでなり、そして軽い方の相(L) は、1) 金属イオンの水溶液、及び次の成分の少量の混合物、すなわち2) 水不混和性溶剤系と3)成膜性樹脂との混合物を含んでなる、という段階を含む上記方法。

IPC (6件)：

B01D17/038 , B01D11/04 , C08J3/00 , G03F7/26 , G03F7/38 , H01L21/027

FI (6件)：

B01D17/038 , B01D11/04 A , C08J3/00 , G03F7/26 , G03F7/38 501 , H01L21/30 502R

Fターム (17件)：

2H096AA25 , 2H096LA30 , 4D056AB03 , 4D056AB20 , 4D056AC22 , 4D056AC25 , 4D056BA09 , 4D056CA13 , 4D056CA25 , 4D056CA39 , 4D056DA01 , 4D056DA05 , 4F070AA18 , 4F070AA44 , 4F070AB17 , 4F070BA07 , 4F070BB05

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-126502
特開昭63-006026
フェノール樹脂の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-050592 出願人：住友ベークライト株式会社

前のページに戻る