特許
J-GLOBAL ID:200903086840089590

伝熱促進方法および沸騰伝熱面

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 綾田 正道 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-027386
公開番号(公開出願番号):特開2002-228389
出願日: 2001年02月02日
公開日(公表日): 2002年08月14日
要約:
【要約】【課題】 表面を濡らし易い液体の場合でも沸騰熱伝達を良好にできる技術を提供する。【解決手段】 液体の沸騰が生じる面に、高さ10nm〜1000nmの凹凸体3、4が密集した表面粗さ2を形成してその面から液体への熱伝達を良好にする表面処理を行なう。この表面処理はスパッタリングまたは化学蒸着法(CVD法)によって表面に薄膜を形成しても良いし、表面に湿式エッチングまたは上記の薄膜形成後の湿式エッチングの方法で微細な粗さを形成しても良い。
請求項(抜粋):
伝熱壁に高さ10nm〜1000nmの凹凸体が密集した面粗さの沸騰伝熱面を形成する表面処理を行なうことを特徴とする伝熱促進方法。
IPC (3件):
F28F 13/02 ,  F28F 3/04 ,  H01L 23/427
FI (3件):
F28F 13/02 A ,  F28F 3/04 A ,  H01L 23/46 A
Fターム (4件):
5F036AA01 ,  5F036BA08 ,  5F036BA24 ,  5F036BB05

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