電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222383
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064467
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】試料室内で発生したコンタミの影響を受けることなく、試料室内の低真空状態と隔離して鏡筒内を高真空状態を維持可能な電子顕微鏡を提供する。【解決手段】電子顕微鏡は、レンズ(2、3、4)で集光制御された電子ビームが通過する鏡筒(5)と、鏡筒内を通過した電子ビームが照射される試料(7)が載置される試料室(8)と、鏡筒の試料室側の開口を閉じるように取り付けられ鏡筒と試料室との真空を隔離する隔離薄膜(6)とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

レンズで集光制御された電子ビームが通過する鏡筒と、前記鏡筒内を通過した電子ビームが照射される試料が載置される試料室と、前記鏡筒の前記試料室側の開口を閉じるように取り付けられ前記鏡筒と前記試料室との真空を隔離する隔離薄膜とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/18 , G01B 15/00 , H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/18 , G01B 15/00 B , H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

電子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-182716 出願人：富士通株式会社
電子ビーム真空容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-176485 出願人：三菱重工業株式会社
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-070055 出願人：株式会社エリオニクス

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