特許
J-GLOBAL ID：200903086842153406
金属酸化物の前駆体と製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-511197
公開番号（公開出願番号）：特表平8-502946
出願日： 1993年10月21日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】第1金属、アルコール、及びカルボン酸を反応させて金属アルコキシカルボキシレートを作成し、次いで第2金属のアルコキシド及び/又はカルボキシレートと反応させて前駆体を作成する。あるいは、金属カルボキシレートと金属アルコキシドを混合して加熱し、前駆体を作成する。いずれの態様においても、前駆体は、所望の金属酸化物の殆ど又は全部の金属-酸素-金属の結合とカルボキシレート配位子を含む。この前駆体を基材(18,38,47,75)に施し、乾燥し、アニールし、BSTのような金属酸化物(12,30,48,60)を作成する。前駆体の金属-酸素-金属の結合は、1つの過程で前駆体から所望の金属酸化物(12,30,48,60)が作成されることを可能にし、集積回路に適切な優れた薄膜を提供する。カルボキシレート配位子は前駆体に安定性を与え、大規模の生産に一般的な期間で貯蔵することを可能にする。
請求項（抜粋）：
前駆体が金属-酸素-金属の結合とカルボキシレート配位子を含む金属錯体であることを特徴とする、金属酸化物(12)、(30)、(48)、(60)を作成するための前駆体。
IPC (11件)：
C01B 13/32
, C01F 11/04
, C01F 17/00
, C01G 23/00
, C01G 29/00
, C01G 33/00
, H01L 21/316
, H01L 21/822
, H01L 21/8242
, H01L 27/04
, H01L 27/108
H01L 27/04 C
, H01L 27/10 651
