圧力計測装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-290848
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098024
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】特性の分布が所定範囲でありながら、測定精度は高く、過大な入力に対しても壊れず、温度設計時に必要な熱経路の算出を容易にし、ばらつきの小さい圧力計測装置を得ること。【解決手段】圧を受け変位する面に対抗する位置に発熱手段を有する感熱抵抗体を設けて、圧を受ける面とこの面を指示する箇所との中で、変位が最大となる箇所による経路が最も熱抵抗値が小さくなるように、突起部、窪み部などを設けたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

一方の端部は圧力計測対象に接続される筒体と、この筒体の他方の端部には圧力を受ける側の第1の面を有するダイヤフラムと、この第1の面と反対側になるダイヤフラムの第2の面側にスペーサを介して対向して配置された基板と、前記ダイヤフラム側の前記基板には発熱手段を有する感熱抵抗体膜と、この感熱抵抗体膜を保護する保護膜とを備えた圧力計測装置であって、前記感熱抵抗体膜の中心から最も近い位置にある前記保護膜の前記ダイヤフラム側の面上の点1から、前記ダイヤフラムの第1の面上の中で最短となる点2までの単位断面積当たりの熱抵抗値が、前記ダイヤフラム側の前記保護膜の面上で点1から少なくとも前記感熱抵抗体膜の長さ相当の半分以上に離れた点3から、前記ダイヤフラムの第1の面上の中で最短となる点4までの単位断面積当たりの熱抵抗値よりも小さいことを特徴とする圧力計測装置。

Fターム (8件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE13 , 2F055FF00 , 2F055FF21 , 2F055GG15

前のページに戻る