特許

J-GLOBAL ID：200903086844025979

セルフクリーニング機構付ダクト

発明者： 奥村 学 ,  村岡 俊一
出願人/特許権者： 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社 ,  三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-198458
公開番号（公開出願番号）：特開平6-042804
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 吸、排気ダクト等において、ダクトの内壁に反応ガスによる生成物やゴミ等が付着、堆積しても、自動的にそれらの物質を除去、移動させ、又は付着防止機能を付加させることを目的とする。【構成】 ダクト3の内壁に沿って回転するセルフクリーニング用羽根4を配置した。【効果】 ダクト内内壁にゴミ等が付着、堆積しても、セルフクリーニング用羽根を回転させることにより、これらの除去及び付着防止等を自動的に行なうことができ、装置の稼働率を向上させる。

請求項（抜粋）：

ダクトの内壁に沿って回転可能なセルフクリーニング用羽根を備えたことを特徴とするセルフクリーニング機構付ダクト。

IPC (2件)：

F24F 13/02 ,  H01L 23/467

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭59-049886
  
• 特開昭64-054167