液晶表示装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：豊田善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342821
公開番号（公開出願番号）：特開平7-168167
出願日： 1993年12月16日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】電気的素子を含む薄膜面部を表示部に有する液晶表示装置において、該薄膜の応力を好適に制御し、表示品質を高めることにある。【構成】電気的素子を含む薄膜中に、該薄膜が形成されているシリコン基板よりも熱膨張率の大きなシリコン窒化膜を高温下で形成した応力制御膜を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に電気的素子を含む薄膜を有し、且つ上記半導体基板の画像表示部に対応する部分が除去されて上記薄膜面部が形成されている素子基板を用いた液晶表示装置において、上記薄膜中に、上記半導体基板よりも熱膨張率の大きな、高温で形成された応力制御膜を有することを特徴とする液晶表示装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

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