特許
J-GLOBAL ID：200903086849263452
ウエハ洗浄装置およびウエハ洗浄用治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055447
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267922
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 ウエハの裏面に付着した汚染物質によるウエハの主面の汚染を防止して、ウエハプロセスにおける歩留を向上させることが可能なウエハ洗浄技術を提供する。【構成】 ウエハ5の輪郭とほぼ同一形状の段差部3bが内周部に刻設された開口部3aを持ち、内部に薬液4が貯留された洗浄槽3と、ウエハ5を背面側から押圧することにより、ウエハ5の洗浄面5aを洗浄槽3の内部に向けた姿勢で固定するブロック状のウエハ押さえ1と、洗浄槽3の側面に設けられたフック2aに両端が係止され、ウエハ押さえ1の背面側に張架されるゴムバンド2とで構成されるウエハ洗浄装置である。
請求項（抜粋）：
処理流体が貯留される洗浄槽と、この洗浄槽の一部にウエハの輪郭形状とほぼ同一の形状に開設されたウエハ保持部と、前記ウエハの一主面のみが前記洗浄槽内に露出する姿勢で前記ウエハ保持部に対して当該ウエハを固定する第1のウエハ固定手段とからなることを特徴とするウエハ洗浄装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/04
, B08B 11/02
