特許
J-GLOBAL ID：200903086861499445
微小送り機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-236341
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072361
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、光学機器、精密加工機械、レーザ機器、その他微小送りが必要な機器に用いる微小送り機構に関するものである。【構成】 積層圧電素子の変位方向を移動体に対し移動方向に一致する方向と、直行する方向にそれぞれ積層圧電素子を配置し、直行する方向の積層圧電素子を変位させ、移動体を保持した状態で移動方向に一致する積層圧電素子を伸縮させ移動体を移動させる動作を繰り返すことを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
微小送りを行う機構において、積層圧電素子の変位方向を移動体に対し移動方向に一致する方向と、直行する方向にそれぞれ積層圧電素子を配置し、直行する方向の積層圧電素子を変位させ、移動体を保持した状態で移動方向に一致する積層圧電素子を伸縮させ移動体を移動させる動作を繰り返すことを特徴とする微小送り機構。
IPC (4件)：
G12B 5/00
, B23Q 5/28
, B25J 19/00
, H02N 2/00
