特許
J-GLOBAL ID：200903086867549649
静電吸着体の離脱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-139157
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326180
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 静電チャックの被吸着体保持面または被吸着体に帯電する残留電荷を確実に除電し、被吸着体の跳ねを生じることなく、安全に被吸着体を離脱させる静電吸着体の離脱装置を提供する。【構成】 被吸着体を静電気力で吸着し保持する静電チャック10と、この静電チャック10を貫通し、前記被吸着体5を前記静電チャックの被吸着体保持面35に対し水平状態に支持し上下駆動されるとともに電気的に接地された導電性の支持ピン28と、この支持ピン28に導電性の接着剤29で接着され、前記被吸着体5を面接触で支持する導電性のゴム30とを設け構成されたものである。
請求項（抜粋）：
被吸着体を静電気力で吸着し保持する静電チャックと、この静電チャックを貫通し、前記被吸着体を前記静電チャックの被吸着体保持面に対し水平状態に支持し上下駆動されるとともに電気的に接地された導電性の支持ピンと、この支持ピンの先端部に前記被吸着体を面接触で支持する導電性のゴムとを設けたことを特徴とする静電吸着体の離脱装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
, H01L 21/302
