特許
J-GLOBAL ID：200903086871665998
光学素子
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-123543
公開番号（公開出願番号）：特開平5-323137
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】本発明は出射角度,出射強度分布,出射焦点距離などに従来生じていた誤差を克服し、精度良い光学素子を提供することを目的とする。【構成】Si基板1上に熱酸化又はスパッタ法等を用いてSiO2 バッファ層2を形成した後、コーニング7059ガラス導波路層3を成膜する。続いて、導波路層3上に1枚のZnO層4を蒸着又はスパッタ法で作製し、次に、その1枚のZnO層4にイオン注入技術を用いて、高抵抗領域4aと低抵抗領域4bを縞状に形成する。
請求項（抜粋）：
基板と、この基板上に積層された導波路層と、この導波路層上に積層された透明半導体層とを有し、この透明半導体層には縞状に形成された高抵抗領域と低抵抗領域とを交互に有することを特徴とする光学素子。
IPC (3件)：
G02B 6/12
, G02B 5/18
, G02F 1/015
