外観検査方法、外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：宮川貞二 , 東野博文 , 宮川清 , 松村博之 , 高橋和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-232875
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069645
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】被検査対象物の位置ズレや回転ズレが大きい場合でも、被検査対象物の外観検査が高速処理できる外観検査方法を提供すること。【解決手段】被検査対象物の第1テンプレート対応領域と、第1テンプレート群に含まれる各面内傾斜角の第1テンプレートとのマッチングを演算して、被検査対象物の概略面内傾斜角を算出し(S22、S24)、算出された概略面内傾斜角に対応して第1及び第2テンプレートを概略面内傾斜角だけ回転させ(S26)、被検査対象物の第1及び第2テンプレート対応領域と、概略面内傾斜角だけ回転させた第1及び第2テンプレートとのマッチングを演算して、前記被検査対象物の精密面内傾斜角を算出し(S28、S30)と、前記算出された精密面内傾斜角に対応して、被検査対象物の回転補正を行ない(S32)、被検査対象物の外観検査処理を施す(S34、S36)。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

良品である被検査対象物の少なくとも2つの領域に対応して第1テンプレートと第2テンプレートを設定する工程と; 前記第1テンプレートを、所定面内傾斜角範囲内の所定面内傾斜角間隔で回転させて第1テンプレート群を設定する工程と; 少なくとも1以上の被検査対象物が撮影された画像信号を取込む工程と; 前記画像信号に含まれる前記被検査対象物の第1テンプレート対応領域と、前記第1テンプレート群に含まれる各面内傾斜角の第1テンプレートとのマッチングを演算して、前記被検査対象物の概略面内傾斜角を算出する工程と; 前記算出された概略面内傾斜角に対応して前記第1テンプレート及び前記第2テンプレートを当該概略面内傾斜角だけ回転させる工程と; 前記画像信号に含まれる前記被検査対象物の第1テンプレート対応領域及び前記第2テンプレート対応領域と、前記概略面内傾斜角だけ回転させた第1テンプレート及び前記第2テンプレートとのマッチングを演算して、前記被検査対象物の精密面内傾斜角を算出する工程と; 前記算出された精密面内傾斜角に対応して、前記画像信号に含まれる前記被検査対象物の回転補正を行なう工程と; 前記回転補正がなされた画像信号を用いて、当該画像信号に含まれる前記被検査対象物の外観検査処理を施す工程と; を有する外観検査方法。

IPC (4件)：

G01N21/956 , G01B11/26 , G06T7/00 , G06T7/60

FI (4件)：

G01N21/956 A , G01B11/26 H , G06T7/00 300D , G06T7/60 150P

Fターム (36件)：

2F065AA37 , 2F065AA39 , 2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC17 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ33 , 2F065QQ38 , 2G051AA51 , 2G051AA61 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB03 , 2G051AC21 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC09 , 2G051DA07 , 2G051DA08 , 2G051EA08 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EC05 , 2G051ED04 , 2G051ED12 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096EA06 , 5L096FA34 , 5L096FA67 , 5L096GA55 , 5L096JA09

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