特許

J-GLOBAL ID：200903086879723423

電子顕微鏡用画像表示装置

発明者： 大崎 光明
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-037113
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243339
出願日： 1999年02月16日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 電子顕微鏡における像観察に使用されるテレビカメラ装置の安全機能を備えた画像表示装置を提供すること。【解決手段】試料を透過した電子線を結像部に投影するための結像レンズ系と、該結像レンズ系を電子顕微鏡像モードと回折像モードに選択的に切り換える像モード選択切換手段と、該結像部の電子線通路上に選択的に配置される蛍光板及び撮像手段と、該蛍光板による蛍光板観察モードと、該撮像手段によるテレビ観察モードとを選択的に切り換える観察モード選択切換手段を備えた電子顕微鏡において、前記像モード選択手段による回折像モードの選択と、前記観察モード選択切換手段によるテレビ観察モードの選択とが同時に行われない安全機構を備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

試料を透過した電子線を結像部に投影するための結像レンズ系と、該結像レンズ系を電子顕微鏡像モードと回折像モードに選択的に切り換える像モード選択切換手段と、該結像部の電子線通路上に選択的に配置される蛍光板及び撮像手段と、該蛍光板による蛍光板観察モードと、該撮像手段によるテレビ観察モードとを選択的に切り換える観察モード選択切換手段を備えた電子顕微鏡において、前記像モード選択手段による回折像モードの選択と、前記観察モード選択切換手段によるテレビ観察モードの選択とが同時に行われない安全機構を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/295

FI (4件)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/22 501 C ,  H01J 37/22 501 B ,  H01J 37/295

Fターム (3件)：

5C033SS03 ,  5C033SS04 ,  5C033SS10