特許
J-GLOBAL ID：200903086894964100

単結晶引上げ装置

発明者：
佐藤 文男

佐藤 文男 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (2件)： 篠原 泰司 ,  藤中 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-289890
公開番号（公開出願番号）：特開2009-114033
出願日： 2007年11月07日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：
【課題】チョコラルスキー式の単結晶引上げ装置において、結晶の回収や熱構成構築作業の安全性と良好な作業性を確保し、且つ装置を小型安価にして、ひいては据え付ける建造物を低くし、付帯機器も小型化できるような単結晶引き上げ装置を提供する。【解決手段】チョコラルスキー式の単結晶引上げ装置において、坩堝2とワークコイル3などの加熱源から構成される熱構成部を外界から保護遮蔽する水冷式のチャンバー4を、垂直方向に分割可能な構成にするとともに、分割したチャンバー4を水平方向に、移動または開閉できるようにし、また水冷式のチャンバー4の内部表面を、高導電性の金属で被覆した。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
チョコラルスキー式の単結晶引上げ装置において、坩堝と加熱源から構成される熱構成部を外界から保護遮蔽する水冷式のチャンバーを、垂直方向に分割可能な構成にするとともに、分割したチャンバーを水平方向に、移動または開閉できるようにしたことを特徴とする単結晶引上げ装置。
IPC (1件)：
C30B 15/00
FI (1件)：
C30B15/00 Z
Fターム (9件)：
4G077AA02 ,  4G077BC24 ,  4G077CF10 ,  4G077EG18 ,  4G077EG28 ,  4G077HA02 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077PA16
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)

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