特許

J-GLOBAL ID：200903086905336387

真空ポンプ

発明者： 山内 明 ,  石川 隆治
出願人/特許権者： ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社
代理人 (1件)： 川井 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-280983
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083249
出願日： 2001年09月17日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】 ポンプを倒立姿勢や水平姿勢で使用しても、ダンパにより高い振動減衰能力を発揮する真空ポンプを提供すること。【解決手段】 真空ポンプをダンパを介して真空装置の上部に倒立姿勢で取り付ける場合は、一端を天井などの固定部に固定した弾性体によって当該分子ポンプに上方に張力を及ぼすことにより、真空ポンプの重量及びダンパの内部が真空になった場合に作用する大気圧による収縮を緩和する。これによってダンパのゴムが圧縮されることによるダンパの振動減衰能力の低下を低減することができる。また、真空ポンプをダンパを介して真空装置の横に水平姿勢で取り付ける場合は、真空ポンプに対し、一端を天井などに固定した弾性体によって上方に張力を及ぼし、真空ポンプの水平姿勢を保持する。これによって真空ポンプの重みでダンパがたわむことが無く、ダンパの高い振動吸収能力を維持することができる。

請求項（抜粋）：

吸気口及び排気口が形成されたケーシングと、前記ケーシング内に収納され、前記吸気口を介して真空装置から気体を吸気し、前記排気口から排気する排気手段と、を具備した真空ポンプ本体と、当該真空ポンプ本体を所定の取付け姿勢にて設置した場合に、当該真空ポンプ本体の重量によって前記吸気口に取付けたダンパに生じる変形を伸張する伸張手段を更に具備したことを特徴とする真空ポンプ。

IPC (2件)：

F04B 39/00 102 ,  F04D 19/04

FI (2件)：

F04B 39/00 102 Q ,  F04D 19/04 Z

Fターム (7件)：

3H003AA06 ,  3H003AC02 ,  3H003BB06 ,  3H003CD01 ,  3H031DA02 ,  3H031EA07 ,  3H031FA39